VACUUM VAPOR TRANSPORT CONTROL

摘要

Un système de commande de transport de la vapeur sous vide et un procédé pour régler le débit de vapeur provenant d'un réservoir réactif dans un système sous vide à travers un orifice de dimension critique, à l'aide de moyens pour calibrer la dimension de l'orifice ou le débit, utilise un gaz fixé très pur, des moyens pour acheminer la vapeur à partir de réservoirs multiples ou de la vapeur mixte provenant d'un seul réservoir et une structure de réservoir.