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发明名称 FLATTENING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6266635(A) 申请公布日期 1987.03.26
申请号 JP19850208418 申请日期 1985.09.19
申请人 NEC CORP 发明人 MORIYAMA ICHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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