发明名称
摘要
申请公布号 JPS62500762(A) 申请公布日期 1987.03.26
申请号 JP19850505028 申请日期 1985.10.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址