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经营范围
发明名称
POSITIONING IN ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号
AU560020(B2)
申请公布日期
1987.03.26
申请号
AU19840027453
申请日期
1984.04.27
申请人
CONTROL DATA CORP.
发明人
THEODORE WORTH TUCKER
分类号
H01J37/20;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/20
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
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