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发明名称 SEMICONDUCTOR SURFACE TREATING AGENT
摘要
申请公布号 JPS5264876(A) 申请公布日期 1977.05.28
申请号 JP19750140723 申请日期 1975.11.26
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MURAOKA HISASHI;ASANO MASAFUMI;OOHASHI TAIZOU;SHIMAZAKI YUUZOU
分类号 H01L21/308;H01L21/306;H01L21/316 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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