摘要 |
Der Drucksensor 5, 31 ist mit einem metallischen Gehäuse 6 sowie einem mit einem Fluid 11 gefüllten abgeschlossenen Druckraum versehen. Der Druckraum ist an seiner Vorderseite mit einer Trennmembran 10 versehen und weist einen Drucksensorchip 14 aus einem Halbleitermaterial auf, und zwar mit einem piezoresistiven anisotropen Effekt. In den Druckraum ist von dem metallischen Gehäuse elektrisch isoliert ein Anschluß 18 hineingeführt, und zwar über Durchführungen, die an eine elektrische Auswertschaltung anschließbar sind, wobei der Drucksensorchip durch Bonden elektrisch mit der Auswerteschaltung in Verbindung steht. Der Drucksensor 5, 31 ist mit einer Trägerplatte aus Aluminiumnitrid 13 versehen, deren Oberfläche zumindest teilweise metallisierte Bereiche aufweist, wobei der Drucksensorchip 14 im metallisierten Bereich auf die Trägerplatte 13 aufgelötet ist (Figur 1).
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