发明名称 CIRCUIT FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT AS SIMPLE SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPS6266175(A) 申请公布日期 1987.03.25
申请号 JP19850207058 申请日期 1985.09.18
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAUCHI MAKOTO
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/00;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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