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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BEARBEITEN VON HL-SCHEIBEN
摘要
申请公布号
DD244233(A1)
申请公布日期
1987.03.25
申请号
DD19850285016
申请日期
1985.12.23
申请人
VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD
发明人
DOEGE,KLAUS,DD;STUBENRAUCH,UWE,DD;FROEHLICH,ULRICH,DD
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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