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发明名称
SAMPLE CONVEYER DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6265813(A)
申请公布日期
1987.03.25
申请号
JP19850204260
申请日期
1985.09.18
申请人
HITACHI LTD
发明人
MATANO KATSUJI;YAMAMOTO HIDEJI;NISHIDA KATSUYASU;KUDO KATSUYOSHI
分类号
H01L21/677;B65G25/04;H01L21/67;H01L21/68
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
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