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发明名称 TEST PATTERN SIGNAL GENERATING CIRCUIT OF INTEGRATED CIRCUIT TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6264967(A) 申请公布日期 1987.03.24
申请号 JP19850204675 申请日期 1985.09.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITAGAKI KENJI
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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