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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6265425(A) 申请公布日期 1987.03.24
申请号 JP19850205659 申请日期 1985.09.18
申请人 SONY CORP 发明人 KUNIYASU HITOSHI;KURIHARA SHINTARO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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