发明名称 LEAKAGE TEST METHOD OF ELECTRIC PART OR ELECTRONIC PART
摘要
申请公布号 JPS6263830(A) 申请公布日期 1987.03.20
申请号 JP19860157767 申请日期 1986.07.04
申请人 ISC CHEM LTD 发明人 DEBITSUDO SUTANRII ROIDO SURIN;DEBITSUDO EDOWAADO MATSUJI UOTSUTON;KORIN ROBAATO SAAJIENTO
分类号 G01M3/04;G01M3/06;G01M3/10;G01M3/22;H01L21/66 主分类号 G01M3/04
代理机构 代理人
主权项
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