发明名称 |
LEAKAGE TEST METHOD OF ELECTRIC PART OR ELECTRONIC PART |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6263830(A) |
申请公布日期 |
1987.03.20 |
申请号 |
JP19860157767 |
申请日期 |
1986.07.04 |
申请人 |
ISC CHEM LTD |
发明人 |
DEBITSUDO SUTANRII ROIDO SURIN;DEBITSUDO EDOWAADO MATSUJI UOTSUTON;KORIN ROBAATO SAAJIENTO |
分类号 |
G01M3/04;G01M3/06;G01M3/10;G01M3/22;H01L21/66 |
主分类号 |
G01M3/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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