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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5435683(A) 申请公布日期 1979.03.15
申请号 JP19770101888 申请日期 1977.08.25
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HARADA NOZOMI;SATOU SHIGERU
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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