| 发明名称 |
WAFER MOVING AND MOUNTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6263442(A) |
申请公布日期 |
1987.03.20 |
| 申请号 |
JP19850203857 |
申请日期 |
1985.09.14 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ANRAKU KAZUHIRO;SATOU TOMOHIRO;YOSHIHASHI MASAO |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G1/00;B65G1/07;B65G1/08;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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