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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR-WAFER HOLDING TOOL
摘要
申请公布号
JPS6263432(A)
申请公布日期
1987.03.20
申请号
JP19850203752
申请日期
1985.09.13
申请人
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP
发明人
OSHIMA MASANORI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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