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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6263671(A) 申请公布日期 1987.03.20
申请号 JP19850203043 申请日期 1985.09.13
申请人 U P ARU:KK 发明人 TAKATSU MATSUO
分类号 C23C14/54;C23C14/56 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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