| 发明名称 |
AUTOMATIC FOCUS ADJUSTING APPARATUS FOR REDUCTION STEPPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6263428(A) |
申请公布日期 |
1987.03.20 |
| 申请号 |
JP19850202576 |
申请日期 |
1985.09.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OSHINO MASARU;KASHIWA KIYOTAKA |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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