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经营范围
发明名称 BEAM PLASMA TYPE ION GUN
摘要
申请公布号 JPS6264034(A) 申请公布日期 1987.03.20
申请号 JP19850203835 申请日期 1985.09.13
申请人 NEC CORP 发明人 KAWASE YUTAKA;NAKAMURA TSUYOSHI;KOBAYASHI HIDEKI
分类号 H01J27/08;H01J27/20;H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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