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经营范围
发明名称
RF TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPS6263179(A)
申请公布日期
1987.03.19
申请号
JP19850201588
申请日期
1985.09.13
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
YOSHIDA HIDEKI;SUGAWARA TORU
分类号
H05H1/54;F03H1/00;H01J27/00
主分类号
H05H1/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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