发明名称 RF TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6263179(A) 申请公布日期 1987.03.19
申请号 JP19850201588 申请日期 1985.09.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA HIDEKI;SUGAWARA TORU
分类号 H05H1/54;F03H1/00;H01J27/00 主分类号 H05H1/54
代理机构 代理人
主权项
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