发明名称 POSITIONING DEVICE OF PELLET
摘要
申请公布号 JPS556889(A) 申请公布日期 1980.01.18
申请号 JP19790076761 申请日期 1979.06.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAMOTO YUUZABUROU
分类号 H01L21/68;H01L21/50 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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