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发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6261333(A) 申请公布日期 1987.03.18
申请号 JP19850199444 申请日期 1985.09.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJIKURA SEIJI;AKIBA ISAMU;OGOSHI TOMOYOSHI;FUNADA RYUICHI;MORIYAMA TERUO
分类号 B08B3/10;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
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