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发明名称 MANUFACTURE OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6261321(A) 申请公布日期 1987.03.18
申请号 JP19850201227 申请日期 1985.09.11
申请人 SHARP CORP 发明人 SEKI AKINORI;KUDO ATSUSHI;KOBA MASAYOSHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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