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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR DETECTING DEFECTIVE SECTION OF SPECIMEN
摘要
申请公布号
JPS6262250(A)
申请公布日期
1987.03.18
申请号
JP19850200687
申请日期
1985.09.12
申请人
INSHISUTEMUZU INC
发明人
DANIERU ERU KABAN
分类号
G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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