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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON DIAPHRAGM
摘要
申请公布号 JPS6261374(A) 申请公布日期 1987.03.18
申请号 JP19850202368 申请日期 1985.09.11
申请人 NEC CORP 发明人 HIRATA MASAKI
分类号 H01L21/3063;H01L21/306;H01L29/84 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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