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发明名称
PIN POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号
JPS6262252(A)
申请公布日期
1987.03.18
申请号
JP19850202371
申请日期
1985.09.11
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUMURA KENICHI
分类号
H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H05K13/08
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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