| 发明名称 |
COUPLING METHOD OF GAAS LSI GATE AND OHMIC ELECTRODES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6261372(A) |
申请公布日期 |
1987.03.18 |
| 申请号 |
JP19850199402 |
申请日期 |
1985.09.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KODERA NOBUO;YANAGISAWA HIROSHI;MIYAZAKI MASARU;KAJITA SHINJI;TANAKA HIRONORI |
| 分类号 |
H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/812 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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