| 发明名称 |
LIGHT BEAM EXPOSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6261020(A) |
申请公布日期 |
1987.03.17 |
| 申请号 |
JP19850202410 |
申请日期 |
1985.09.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SAKAMOTO MASAHIKO;HOSHINOUCHI SUSUMU |
| 分类号 |
H05K3/00;G02B26/10;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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