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发明名称
DEVICE FOR VAPOR-DEPOSITING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6260876(A)
申请公布日期
1987.03.17
申请号
JP19850198782
申请日期
1985.09.09
申请人
RICOH CO LTD
发明人
OOTA WASABURO;KATSURAGAWA TADAO
分类号
C23C16/50;C23C14/32;C23C16/511
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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