发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6259590(A) 申请公布日期 1987.03.16
申请号 JP19850201356 申请日期 1985.09.10
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 INOUE TETSUYA;FUJITA KEIICHIRO
分类号 C30B11/04;C30B11/00;C30B29/40;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B11/04
代理机构 代理人
主权项
地址