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发明名称 METHOD OF MEASURING FILM THICKNESS
摘要
申请公布号 SU1296835(A1) 申请公布日期 1987.03.15
申请号 SU19843786475 申请日期 1984.09.04
申请人 UK ZAOCHNYJ POLT I IM.I.Z.SOKOLOVA;KH FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I AN USSR 发明人 NEKLYUDOV IVAN M,SU;BORISOV VALENTIN V,SU;GORDEEV SERGEJ I,SU;POLYASHENKO REM F,SU;MEDNIKOVA OLGA S,SU;TATUS VIKTOR I,SU;SHKILKO ANATOLIJ M,SU
分类号 G01B15/02 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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