WAFER CASSETTE,申请号JP19850197588-传众专利搜索

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发明名称	WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号	JPS6258653(A)	申请公布日期	1987.03.14
申请号	JP19850197588	申请日期	1985.09.09
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	TAKAGI TOSHIJI
分类号	H01L21/673;B65D85/38;H01L21/67;H01L21/68	主分类号	H01L21/673
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