THIN FILM GROWTH METHOD,申请号JP19850198878-传众专利搜索

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发明名称	THIN FILM GROWTH METHOD
摘要
申请公布号	JPS6258613(A)	申请公布日期	1987.03.14
申请号	JP19850198878	申请日期	1985.09.09
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	MATSUI YUICHI
分类号	H01L29/812;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/80	主分类号	H01L29/812
代理机构		代理人
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