| 发明名称 |
NONCONTACT TYPE PROBE CARD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6258650(A) |
申请公布日期 |
1987.03.14 |
| 申请号 |
JP19850198279 |
申请日期 |
1985.09.06 |
| 申请人 |
NIPPON DENSHI ZAIRYO KK |
发明人 |
OKUBO MASAO;YOSHIMITSU YASUYOSHI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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