| 发明名称 |
CHEMICAL EVAPORATING APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6258639(A) |
申请公布日期 |
1987.03.14 |
| 申请号 |
JP19860112420 |
申请日期 |
1986.05.15 |
| 申请人 |
MITEL CORP |
发明人 |
GAI BURIAN;RICHIYAADO KURUTEIEE;EDOWAADO SHIII DEII DAAUOORU;RAZURO SHIYORUGIIMII |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/314 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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