| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING TEMPERATURE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6258141(A) |
申请公布日期 |
1987.03.13 |
| 申请号 |
JP19850199048 |
申请日期 |
1985.09.09 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
KINOSADA TOSHIAKI;YAMASHITA TATSUYA;TOMITA KOJI |
| 分类号 |
G01K11/12;G01N21/41;H01L21/66 |
主分类号 |
G01K11/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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