发明名称 PHOTORESIST FOR CREATING RELIEF STRUCTURES ON HIGH-TEMPERATURE RESISTANT POLYMERS
摘要
申请公布号 DE3369742(D1) 申请公布日期 1987.03.12
申请号 DE19833369742 申请日期 1983.08.27
申请人 MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 KLUG, RUDOLF, DR.;HARTNER, HARTMUT, DR.;MERREM, HANS-JOACHIM, DR.;NEISIUS, KARL HEINZ, DR.
分类号 C08F291/18;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 C08F291/18
代理机构 代理人
主权项
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