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发明名称 DETECTING DEVICE FOR FILM THICKNESS VARIATION
摘要
申请公布号 JPS6256804(A) 申请公布日期 1987.03.12
申请号 JP19850195831 申请日期 1985.09.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITANI KATSUHIKO;CHOKAI MINORU;OKAZAKI SHINJI;MIMURA ITARU;SUGIYAMA HISATAKA
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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