发明名称 |
METHOD FOR GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6256394(A) |
申请公布日期 |
1987.03.12 |
申请号 |
JP19850196395 |
申请日期 |
1985.09.05 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAITO TETSUO;YOSHIKAWA MITSUO |
分类号 |
C30B29/48;C30B13/16;C30B29/46;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B29/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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