发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6257257(A) |
申请公布日期 |
1987.03.12 |
申请号 |
JP19850197330 |
申请日期 |
1985.09.06 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
WAKI TAKATOSHI;KOSEMURA KINSHIRO |
分类号 |
H01L29/812;H01L21/338;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/812 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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