发明名称 ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE FOR MOUNTING SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6257239(A) 申请公布日期 1987.03.12
申请号 JP19850195904 申请日期 1985.09.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI MASAAKI;KURIHARA YASUTOSHI;INOUE KOICHI;SAWAHATA MAMORU;YATSUNO KOMEI
分类号 H01L23/15;H05K1/02;H05K1/03;H05K3/22 主分类号 H01L23/15
代理机构 代理人
主权项
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