发明名称 |
ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE FOR MOUNTING SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6257239(A) |
申请公布日期 |
1987.03.12 |
申请号 |
JP19850195904 |
申请日期 |
1985.09.06 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI MASAAKI;KURIHARA YASUTOSHI;INOUE KOICHI;SAWAHATA MAMORU;YATSUNO KOMEI |
分类号 |
H01L23/15;H05K1/02;H05K1/03;H05K3/22 |
主分类号 |
H01L23/15 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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