发明名称 METHOD OF TUNGSTEN THIN LAYERS FORMATION ON SOLID SUBSTRATE
摘要
申请公布号 CS248976(B1) 申请公布日期 1987.03.12
申请号 CS19840003034 申请日期 1984.04.24
申请人 FERDINANDY,MILAN,CS;CZAJLIK,MIKULAS,CS;KRAL,JOZEF,CS;LISKA,DUSAN,CS;TIMKOVA,MARIA,CS 发明人 FERDINANDY,MILAN,CS;CZAJLIK,MIKULAS,CS;KRAL,JOZEF,CS;LISKA,DUSAN,CS;TIMKOVA,MARIA,CS
分类号 C23C16/16;(IPC1-7):C23C16/16 主分类号 C23C16/16
代理机构 代理人
主权项
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