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发明名称
METHOD OF TUNGSTEN THIN LAYERS FORMATION ON SOLID SUBSTRATE
摘要
申请公布号
CS248976(B1)
申请公布日期
1987.03.12
申请号
CS19840003034
申请日期
1984.04.24
申请人
FERDINANDY,MILAN,CS;CZAJLIK,MIKULAS,CS;KRAL,JOZEF,CS;LISKA,DUSAN,CS;TIMKOVA,MARIA,CS
发明人
FERDINANDY,MILAN,CS;CZAJLIK,MIKULAS,CS;KRAL,JOZEF,CS;LISKA,DUSAN,CS;TIMKOVA,MARIA,CS
分类号
C23C16/16;(IPC1-7):C23C16/16
主分类号
C23C16/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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