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发明名称 INTERFERENTIAL MEASURING METHOD FOR SURFACES
摘要
申请公布号 EP0112399(B1) 申请公布日期 1987.03.11
申请号 EP19820111809 申请日期 1982.12.20
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MAKOSCH, GUNTER, DIPL.-PHYS.;SCHEDEWIE, FRANZ, DR., DIPL.-PHYS.
分类号 G01B11/02;G01B11/30;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/30;G01B9/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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