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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM EVAPORATION SOURCE
摘要
申请公布号
JPS6255920(A)
申请公布日期
1987.03.11
申请号
JP19850197015
申请日期
1985.09.05
申请人
NEC CORP
发明人
IDE YUICHI
分类号
H01L21/203;H01L21/26
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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