发明名称 METHOD OF MAKING AN INTEGRATED INSULATED-GATE FIELD-EFFECT TRANSISTOR HAVING SELF-ALIGNED CONTACTS IN RESPECT OF THE GATE ELECTRODE
摘要
申请公布号 EP0129045(B1) 申请公布日期 1987.03.11
申请号 EP19840105353 申请日期 1984.05.11
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH;ITT INDUSTRIES INC. 发明人 KRAFT, WOLFGANG
分类号 H01L21/32;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/82;H01L27/10 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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