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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6255572(A)
申请公布日期
1987.03.11
申请号
JP19850195317
申请日期
1985.09.04
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KIRA EIJI;URASAKI NAOHIKO
分类号
H01L21/66;G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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