发明名称 Continuous vapour phase processing machine.
摘要
申请公布号 EP0213951(A2) 申请公布日期 1987.03.11
申请号 EP19860306728 申请日期 1986.09.01
申请人 EMHART INC. 发明人 STRATTMAN, WAYNE P.
分类号 B01J19/00;B23K1/015;C23G5/04;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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