金属零件表面形成硫化物层的方法及设备

摘要

一种通过硫的加热气化而在金属零件表面形成硫化物层的方法及其设备，被渗金属零件放置在真空反应室中的阴极盘上，同时在真空反应室中还放有盛有固体硫的蒸发器，蒸发器由低压电源来加热。固体硫在真空情况下通过加热而气化，气体硫在阴极和阳极之间所加的直流高压电场作用之下电离并进行辉光放电，在辉光放电下正离子硫轰击位于阴极盘上的金属零件，使其表面形成硫化物层。

主权项

1、一种通过硫的加热气化而在金属零件表面形成硫化物层的方法，该方法由下列部分组成：将被渗金属零件放置在真空炉内反应室中的阴极盘上，同时在真空炉中还放置有固体硫，固体硫在真空炉抽真空情况下(真空度为1～10-2托)进行加热并达到沸点而气化，气化硫充满反应室中，此时在阴极和阳极之间施加一电场，硫气体在电场作用下电离，正离子硫轰击位于阴极盘上的金属零件，从而使其表面形成硫化物层，该方法的特征在于，固体硫直接加热气化，气化硫在直流高压电场作用下电离并产生辉光放电，在辉光放电条件下对金属零件进行表面渗硫。