| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER HOLDING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6254933(A) |
申请公布日期 |
1987.03.10 |
| 申请号 |
JP19850193755 |
申请日期 |
1985.09.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMAZAKI TAKASHI;KOBAYASHI TOSHITAKA |
| 分类号 |
H01L21/683;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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