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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6254468(A) 申请公布日期 1987.03.10
申请号 JP19850194216 申请日期 1985.09.03
申请人 SONY CORP 发明人 HARADA YOSHIO
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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