发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6254910(A) 申请公布日期 1987.03.10
申请号 JP19850195580 申请日期 1985.09.03
申请人 SHARP CORP 发明人 MAEKAWA SHINJI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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